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식각

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작성일 20-05-18 00:57

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순서

설명

-반도체 공정 중의 하나
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,

식각
레포트/기타

식각

등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬

순수한 화학적 reaction

높은 선택적(Selectivity) reaction

원가는…(투비컨티뉴드 )
,기타,레포트
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻

Download : 식각.ppt( 36 )

반도체 공정 순서 (참고)
다.

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